二手 VARIAN 3180 #9106890 待售

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VARIAN 3180
已售出
製造商
VARIAN
模型
3180
ID: 9106890
Sputtering system Currently installed in cleanroom.
VARIAN 3180是一種最先進的薄膜沈積設備,用於將各種塗層濺射到基板上。系統包括兩個陰極,兩個基板位置,兩個載荷和卸載位置,各獨立控制。閉環、計算機控制的濺射裝置提供可重復、一致的結果。3180利用平面磁控管濺射技術進行高產均勻沈積。這一先進技術支持金屬和介電材料的大面積沈積。真空壓力可維持在2x10-4至10-7 torr之間,而工藝溫度範圍從室溫到350 °C。這臺機器有一個光學觀察窗口和一個基於PC的、用戶友好的圖形界面,便於操作。利用自動磁鐵功率調節和冗余腔室壓力控制,提供準確、均勻的沈積速率。繞行基板運動可確保在圓形基板上均勻塗層。VARIAN 3180包含一種超低濺射模式,用於沈積薄至1Å的薄膜。3180可用於薄膜沈積、光學塗層、高級耐磨層、介電和導電層以及屏障層等多種應用。適用於石英、金屬、玻璃和塑料等多種基材。濺射工具能夠產生光滑、均勻的金屬氧化物、矽酸鹽和氟化物塗層以及其他材料。VARIAN 3180完全設計、設計和組裝,以滿足業界的安全和質量要求。它由知識淵博的客戶服務團隊組成的廣泛網絡作為後盾。VARIAN高級軟件解決方案使用戶能夠監控資產性能以實現最高的生產效率。公司提供的所有系統都提供12個月的保修,並支持產品的使用壽命。
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