二手 VARIAN 3190 #42672 待售

VARIAN 3190濺射設備是為研究和工業應用而設計的先進、高性能物理氣相沈積（PVD）系統。最高工藝溫度為1400 °C,工藝壓力範圍從10^-2到10^-7 Torr,這種高度通用且可靠的裝置可以最佳地執行各種塗層工藝和薄膜沈積應用。機器由兩個相互連接的腔室組成，頂部腔室裝有濺射目標組件，下部真空腔裝有基板。濺射目標組件最多可容納三個由RF或DC濺射源配置的獨立目標源。此外，目標可以定制為所需的塗層材料，允許金屬、合金、氧化物和電介質的沈積。3190采用先進的基板偏置控制技術，能夠精確控制基板電位和精確均勻性。該技術還使得各目標濺射沈積參數的獨立控制成為可能，進一步提高了成品的均勻性。此外，該工具還包括一個先進的多區加熱和冷卻平臺，可精確控制多達五個燃燒區的溫度，確保沈積結果的優越質量和可重復性。當與基於VARIAN Web的Optima軟件平臺結合使用時,VARIAN 3190提供了對濺射沈積過程的完全控制,從而實現了最終結果的顯著優化。這種直觀的界面還允許對流程參數進行完整的監控,從而實現精確的流程診斷和故障排除。此外,該資產還具有高級流程診斷工具,可以輕松識別任何問題並實時采取糾正措施。簡而言之,3190是一個強大而直觀的PVD模型,具有最先進的功能,旨在優化薄膜沈積過程。該設備提供無與倫比的過程控制和精確的基板均勻性，使其成為廣泛的工業和研究應用的理想平臺。