二手 VARIAN 3190 #9097088 待售

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製造商
VARIAN
模型
3190
ID: 9097088
晶圓大小: 5"
Sputtering system, 5" (3) Targets Cryo pump Power supplies Currently warehoused.
VARIAN 3190是設計用於薄膜沈積的高性能、低成本濺射設備。該系統采用兩種獨立的濺射炮,與多種基材兼容。3190能夠生產厚度範圍為0.5 nm至8.0微米的薄膜,具有優異的薄膜均勻性和優異的可重復性。VARIAN 3190具有強大的機械設計和高級控制功能,可提供卓越的工藝性能。基板安裝在旋轉平臺上,允許在基板表面均勻沈積。槍的電源是可調的,能夠實現低入射能量密度和低任務周期。此外,3190還可以配備可選的離子源/等離子源,以提供所需的薄膜性能。該單元還提供一系列現場監測和診斷工具,如厚度測量和實時晶圓映射。VARIAN 3190是一款以過程為中心的機器,為用戶提供靈活性和高精度。按人體工程學設計的界面簡化並加速了工具的操作。資產也是高度可定制的,允許用戶定義特定流程的標準操作程序。此外,所有參數都已存儲,可以快速召回以備將來使用。總體而言,3190是在多種基板上沈積高精度薄膜的理想平臺。該單位可靠性高、效率高、成本效益高。VARIAN 3190以其先進的設計和廣泛的特點,是各種薄膜應用的絕佳選擇。
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