二手 VARIAN 3190 #9112440 待售

VARIAN 3190是一款高性能濺射設備，設計用於以任何生產速率提供精確試驗膜的超清潔、高效、高度可控的沈積。它利用三個來源的濺射材料的優越的底物覆蓋率和高的沈積率。該系統圍繞由三相電源驅動的低能快速脈沖放電設計。這種配置使得材料在基板表面的沈積極為均勻，濺射時間非常快，大大提高了沈積速率，同時產生了比替代系統預期的更清潔的表面。3190具有完全可配置的接口，允許精確控制蒸發率、薄膜厚度、溫度、壓力、脈沖頻率等參數。其模塊化結構設計便於單元集成和快速刀具轉換。它還可以與現有的傳統控制器設計集成。VARIAN 3190具有全過程自動化和熱管理以及跨多個目標的均勻沈積功能。它還提供可選的濺射源以提供定制的膜組合，如導電層、半導電層和保護膜層。3190擁有包括磁碟、銅合金靶子、超細金屬靶子在內的大型目標選擇。因此,可以針對所需的材料組成和生產率對機器進行優化。其專有的電鍍技術通過減少過度抽水造成的損失，提高了均勻性，降低了成本。該工具也非常適合生產介電和光學塗層，如金屬氧化物和氮化物。VARIAN 3190適用於要求膜均勻性優越、沈積率高、純度超高、表面質量優良的應用。它的多功能設計為滿足任何生產要求提供了最大的成本節約和靈活性,其加工元件確保了一致的性能和可靠性。3190是從高精度研究項目到大規模商業運營等多種應用中廣泛濺射需求的理想解決方案。