二手 VARIAN 3280 #148076 待售

VARIAN 3280是一種為高通量材料沈積和器件制造而設計的內容均勻濺射設備。它是一個單槍單元，只有一個濺射室，可以沈積均勻層的金屬、介電和其他材料如氧化物、氮化物和類似金剛石的化合物。其最大濺射速率為180Å/分鐘，能夠產生比其他濺射系統高五倍的高沈積速率。3280配備高端Robostage傾轉機械手，提供精確對準和一致的膠片均勻性。這個機器人階段允許用戶在大面積上獲得統一的覆蓋範圍，同時確保陣列設備的均勻性。傾斜旋轉系統可以提供最大角度範圍，± 25°的俯仰，± 35°的側傾，180°的偏航，允許沿Y軸高度動態，以有效的基板旋轉。VARIAN 3280機組有高速動態真空泵，由N2凈化機、渦輪泵和冷凍飛機冷卻工具組成。這樣可以實現較長的周期和快速的泵送,從而提供出色的吞吐量。此外,它還具有一個PLC資產,用於改進對腔室壓力和氣體流動的控制和準確性,以及一個PID反饋回路,用於溫度均勻性設置的精確溫度控制。該模型能夠在10-1至10 mTorr範圍內的工作壓力下濺射，典型的濺射速率為15-20 Å/minute。3280提供了廣泛的來源，可用於沈積材料層，包括標準的目標材料，如鋁和鈦，以及更特定於氮化物和氧化物的材料，如氮化鈦和二氧化鋁。這允許用戶在整個基板上沈積成分、形態和厚度均勻的層,而無需多個掩模或陰影掩模。最後,VARIAN 3280的特點是升級了模塊,提高了生產率,能夠檢測基板上濺射材料的水平和材料的數量,從而允許重復濺射。此外，該設備還具有基於軟件的遠程監控系統和先進的參數設置，可以優化沈積工藝，提高生產效率。