二手 VARIAN 3280 #9024315 待售

VARIAN 3280是一種高精度濺射設備，設計用於需要均勻薄膜的應用，如用於光刻和醫學成像的電子器件塗層或塗層。該系統可以將金屬薄膜、絕緣薄膜和半導體薄膜沈積在最大面積達304 x 304毫米的區域上。其均勻的濺射沈積過程能夠提供一個在整個區域內極為光滑的表面，使得它特別適合於電氣和光學特性取決於薄膜厚度的裝置。3280采用高物理氣相沈積壓力沈積厚度和組成極為均勻的薄膜層。其機動定位階段能夠精確控制塗層位置，而閉環工藝監視器可確保可重復結果。該裝置可用於超高真空（UHV）或高壓濺射室配置。VARIAN 3280具有先進的用戶界面,允許用戶對其特定的濺射過程參數進行編程,並獲得精確的厚度和均勻性控制讀數。機器還包括一個無擋板的觀察窗口，用於實時觀察基板和濺射過程。其高性能的氣體處理控制能夠處理各種氣體，並提供整個腔室的過程穩定性。此外，3280能夠在很寬的溫度範圍內運行，使其適合需要退火一段時間的應用。這也允許改善粒子遷移率以獲得均勻的薄膜特性。總體而言，VARIAN 3280是一種強大而可靠的濺射工具，為各種基材提供了出色的沈積均勻性、精度和可重復性。其廣泛的特性使得它非常適合要求最高質量的薄膜和塗層的應用。