二手 VARIAN 3290 STQ #9134776 待售
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已售出
ID: 9134776
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6"
Entity target configuration:
Process station #2:ALSICU
Process station #3:ALSICU
Process station #4:ALSICU
Process station cathode configuration:
Station #2:Quantum(Ratating magnet)
Station #3:Quantum(Ratating magnet)
Station #4:Quantum(Ratating magnet)
Heater configuration:
Heater type (All station): DC BIAS
Heater controller(AII station): Eurotherm 808 x 3
Power supply configuration:
Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW
Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW
Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW
System vacuum configuration:
Compressor: Model 8600
8R Cryo pump: Yes
Water pump: No
Software configuration:
User's guide: ECS 3000
Version: 96.204.10U1
Floppy drive: 3.5"
Double cassette loading.
VARIAN 3290 STQ濺射設備是一種精密沈積儀器,用於在基板上沈積和塗覆材料。它旨在提供高速率和低溫濺射,使不同材料的層層結構在同一晶片上沈積。該系統通過對功率和壓力參數的專利Versareg™控制,提供了極高的沈積精度和精確度。單元內部的不銹鋼腔室設計用於容納扁平樣品支架上的多個基板。該室還配備了惰性回填氣體選件,並配備了用於濺射的先進高功率13.56 MHz射頻發電機。它還配備了組件,以實現快速的樣品裝卸。VARIAN 3290STQ還具有高速率和低溫濺射能力。高速率濺射模式可以達到高達34 eV的動能,允許材料以高速率發生沈積。這也使具有不同特性的材料能夠逐層沈積。低溫濺射模式允許減少汙染物的產生和低質量濺射。此模式允許通常與較高的性能速率關聯的濺射參數,例如較高的目標角度和自濺射。3290 STQ濺射機采用先進的壓力反饋和容器控制技術。該技術保證了濺射操作過程中的重復性和可靠的壓力和真空控制。配備PFC的工具還允許用戶利用可變壓力操作的優勢,並使用戶通過脈沖操作和可變壓力控制來最大化離子中性比。3290STQ還具有先進的過程監測和控制系統。這些系統允許用戶通過其過程監控功能來協調和管理所有濺射操作。過程監控工具包括溫度控制系統、電離植入檢測器、數據記錄和分析系統,以及其他允許用戶監控沈積過程的控制資產工具。此外,通過其最新的先進模型軟件,它能夠達到黃金標準的精度。綜上所述,VARIAN 3290 STQ濺射設備的性能保證了在裝卸過程控制/監控操作中的最大精度和準確性。這使得VARIAN 3290STQ一個理想的系統,用於先進的濺射操作和材料的沈積和塗層的基板。
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