二手 VARIAN 3290 STQ #9154639 待售
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已售出
ID: 9154639
Sputtering system, 6"
Entity target configuration:
Process station #2: ALSICU
Process station #3: ALSICU
Process station #4: ALSICU
Process station cathode configuration:
Station #2:Quantum (Rotating magnet)
Station #3:Quantum (Rotating magnet)
Station #4:Quantum (Rotating magnet)
Heater configuration:
Heater type (All station): DC BIAS
Heater controller (AII station): Eurotherm 808 x 3
Power supply configuration:
Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW
Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW
Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW
System vacuum configuration:
Compressor: Model 8600
8R Cryo pump: Yes
Water pump: No
Software configuration:
User's guide: ECS 3000
Version: 96.204.10U1
Floppy drive: 3.5"
Double cassette loading.
VARIAN 3290 STQ濺射設備是由VARIAN開發的用於高質量薄膜沈積的三目標、兩套同時反應和無反應磁控管濺射系統。它設計用於從高端科學研究到工業生產等多種應用，因其易用性和可靠性，是許多實驗室的首選。VARIAN 3290STQ濺射裝置裝有可旋轉、機電控制的炮塔濺射頭，旨在提供對目標角度和基板加工距離的高度精確控制，以實現最佳的濺射沈積。它具有24目標，3位置炮塔濺射頭與非磁性，鈦基導電目標。由於電控轉臂，目標和工件定位精確到0.1mm精度。此外，該機設計為對金屬、半導體材料和合金進行反應性和非反應性濺射，以達到目標幾何和物理性質。該工具配備了用於復合材料反應性濺射的專利雙套件磁控管，為復合和合金靶標提供了無與倫比的精度和可重復性。3290 STQ濺射資產是為可靠高效的濺射塗層操作而設計的，能夠同時處理多達10種基板，頭痛最小。該模型采用多站設計，易於更換基板，同時保持安全可靠。它具有機動導軌、自動基板運輸和運動監測設備，用於精確的模具位置控制和薄膜均勻性。該系統還配備了一個正在申請專利的試運行套件，這是一個閉環腔室壓力反饋單元，確保以安全的方式優化工藝參數。3290STQ濺射機還具有直觀的圖形用戶界面，便於設置、編程和監控操作。VARIAN 3290 STQ濺射工具旨在為高質量的薄膜沈積提供可靠高效的平臺，是全球許多實驗室的理想選擇。憑借其先進的工程、精確的控制和直觀的用戶界面，它一定能提供出色的效果。
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