二手 VARIAN 3290 STQ #9180896 待售

VARIAN 3290 STQ是由VARIAN Inc生產的濺射設備。它是一種高性能的磁控管濺射沈積系統，能夠為各種應用創建均勻的薄膜。VARIAN 3290STQ具有三個立方體形、高功率、磁控管源,它們在整個基板上提供嚴格控制的均勻性和功率,並且該單元最多可配備三個加工室或「模塊」,以處理各種同時處理任務。3290 STQ的模塊化設計允許用戶創建多種配置，以適應晶圓尺寸、基板厚度和目標材料的特殊要求。閉環過程控制在廣泛的條件下提供精確的沈積水平、均勻性和可重復性。3290STQ有一個高分辨率的電容壓力計壓力控制機，每個模塊都有獨立的控制。它還配備了可編程控制器，允許用戶創建和存儲多達12種不同的濺射過程配方，從而實現快速、簡單、可重復的過程。VARIAN 3290 STQ具有40至270毫米的快速操作高度，允許最大工藝負荷達60公斤。它是一個強大的工具，具有多種先進的安全功能，包括自動化的電弧管理資產、雙聯鎖模型、獨立的緊急關閉以及保護性的鋁制屏蔽。它還具有觸摸屏E-panel,可完全控制所有設備流程。VARIAN 3290STQ用途廣泛，可用於多種工藝，如薄膜沈積、合金鍍層、精密蝕刻、磁控管濺射和反應性離子蝕刻。適用於廣泛的應用，包括光電、數據存儲、微電子、儲能。3290 STQ憑借其令人印象深刻的性能、出色的功能和人性化的操作，是高性能濺射系統的熱門選擇。