二手 VARIAN 3290 #151223 待售

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製造商
VARIAN
模型
3290
ID: 151223
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6" Configuration: Wafer size: 6" Fluke Master controller Analog heater controller (station 1/2/3/4) MKS 250V argon controllers Wafer process controller: Z80 Wafer loader controller: Z80 VARIAN vacuum controller VARIAN 880 ion gauge controller Cassette motor controller RF matching network controller CTI 8 cryopump and controller CONMAG II deposition sources RF10S generator LEYBOLD / TRIVAC D65 rough pump Can be demonstrated.
VARIAN 3290濺射設備是一種多功能沈積工具,可用於將多種薄膜沈積到基板上。該系統包括一個裝有真空泵、控制器和電源的主體,以及一些目標材料和目標。3290利用堅固的射頻電源和直流偏置為真空室內最多四塊磁體供電。磁鐵被用來限制濺射材料的基板,允許均勻和可重復的沈積。此外,VARIAN 3290包含調節旋鈕,以微調磁場,用於不同的材料和應用。3290是一個集成的濺射單元,因為它還配備了一個用於雙向反饋控制的石英晶體監視器。該監視器測量沈積膜的厚度與提供給目標的功率相比,以保持精確的厚度。該機還利用負載鎖,通過允許真空室安全打開並用新的基板重新裝填來減少刀具汙染。VARIAN 3290具有將各種金屬和陶瓷材料濺射到各種基板上的能力。它可以濺射到平坦和彎曲的基板上,有一系列的目標材料,包括鋁、鈦、金和銀。該資產還能夠根據應用情況使用各種氙氣。總體而言,3290濺射模型是一種理想的薄膜沈積工具,適用於各種應用。它允許精確的薄膜增長,而不需要額外的組件,而多重磁鐵設計允許均勻和可重復的沈積。此外,設備直觀易用,控制簡單,磁場可調。最後,它能夠利用不同的底物、氙氣和靶材,使其適合於許多不同的薄膜沈積目的。
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