二手 VARIAN 3290 #9094690 待售

VARIAN 3290是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.開發的一種緊湊、全自動的濺射設備，3290能夠將材料種類繁多的基板濺射塗層，可用於沈積金屬、氧化物、合金等化合物。該系統提供了可適應各種沈積性能要求的多功能濺射配置。VARIAN 3290是一個單室單元，具有集成的負載鎖。該室的內部由不銹鋼構成，可用於四個獨立的濺射源。該室包括一個用於控制過程氣體流動的電子匹配機。該工具還包括預濺射基板清潔器和機器人控制的旋轉基板旋轉木馬等功能。3290配備了一系列先進的控制和監控功能。這些特性使用戶可以輕松調整工藝參數，如壓力、濺射壓力、工藝時間、功率、電壓、電流以及基板與濺射源之間的距離。此外,還可以使用VES2-compatible計算機界面遠程控制資產。VARIAN 3290的監控功能可用於確保每個過程步驟的質量結果。該模型包括內置粒子計數器、線性可變差分變壓器（LVDT）、石英晶體微天平（QCM）和光學監控端口。QCM尤其可用於測量吸附-解吸等溫線和定量表面質量評價。3290提供了廣泛的濺射應用。非常適合高通量濺射，如濺射塗層太陽能電池、HFET、FET、MEMS、納米線、納米顆粒、薄膜晶體管等。該設備還允許絕緣材料、導電材料和半導體材料的濺射沈積。VARIAN 3290是一種有效且用途廣泛的濺射系統。它具有先進的控制和監控功能，是實現優質塗層效果的理想單元。用戶是否需要沈積金屬、氧化物、合金或其他化合物-3290提供了完美的濺射溶液。