二手 VARIAN 3290 #9121542 待售
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ID: 9121542
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6"
(TiW, AlCu, AlCu, hard etch), 150mm, p/n 983-4353, 480V, 22A, 3ph, 60Hz,
CTI-Cryogenics On-Board 8 cryopump
V200-A turbopump; V200 turbopump
(2ea) MKS 250B controller
Fluke 1722A instrument controller
Fluke 8840A multimeter
Wide range thin film monitor
SW Version 2.2
Sputtering power supply
Vacuum system controller
880RS vacuum ionization gauge
RF matching controller
Cassette motor control
Temp monitor
Dual CTI-Cryogenics On-Board controller
Pfeiffer DCU controller
MKS vacuum controller
Multi-range DC sputtering power supply
(2ea) interlock status display
(2ea) deposition source control
RFPP RF10S RF generator
(3ea) CPI CPW-12/480 power supply
Includes OneAC power transformer/conditioner.
VARIAN 3290濺射設備是一種靈活的角反應濺射工具,可為制造商和研究實驗室提供精確、可靠性和成本節約。該系統能夠濺射沈積在各種形狀和尺寸的任何材料的基板上，如玻璃、陶瓷、塑料和金屬。該設備提供可用於控制生產產量和質量保證的光學質量結果。3290具有完整的定制濺射板系列,包括圓形、扁平、圓錐形和多軸配置,以滿足任何工藝要求。機器還包括專有的目標，像黃金，專門用於特定的基材。VARIAN 3290還提供了強大的過程控制。其定制的可編程控制器提供對濺射深度、層厚度和均勻性的精確控制。綜合數據收集工具能夠對過程進行監測，並能夠詳細報告結果。該資產設計具有先進的安全功能，包括安全互鎖模型、電源關閉開關和緊急停止。這些功能可確保安全運行,並降低工作流程中發生危險的風險。該設備也方便用戶，適合實驗室和生產環境。用戶友好的軟件為復雜的濺射過程參數提供自定義配方，使操作員能夠輕松設置和維護過程條件。該系統也是高度可定制的，可以升級以提供更廣泛的覆蓋範圍、更高的功率密度，以及一些其他的改進以適應任何生產要求。它還與大多數最新的濺射技術兼容,例如我們專有的濺射控制單元,可實現精確的過程控制。3290是一款可靠、經濟實惠的濺射機。它具有卓越的工藝自動化和先進的安全特性，適用於研究和生產應用。該工具具有廣泛的可定制性和最先進的濺射技術，可精確控制各種濺射沈積參數。
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