二手 VARIAN 3290 #9125838 待售

VARIAN 3290濺射設備是由VARIAN, Inc.開發的高端物理氣相沈積（PVD）技術產品。它旨在沈積一系列薄膜，從金屬和半導體到氧化物、氮化物和聚合物。這種多功能濺射工具非常適合從薄膜增厚和光學塗層到微電子等多種應用。3290濺射系統提供了一個先進可靠的平臺,可以滿足廣泛的要求。該單元配備了結合了高性能工藝室、炮塔配置和模塊化負載鎖的屏蔽設計。由於實驗和過程可能需要不同的卡帶方向、目標位置和幾何形狀來匹配每個應用程序的要求,因此這種獨特的功能可以提供靈活性。該機還提供卓越的工藝控制，包括工藝氣體的獨立控制、功率、腔室壓力、渦輪分子泵速度和真空排氣。該工具具有廣泛的功能,旨在處理不同的特殊應用程序。它具有多目標能力，能夠同時濺射兩種不同的材料。資產還可以高效運行具有不同幾何形狀如圓形、矩形、正方形和菱形的大型基板。這保證了材料沈積過程盡可能精確，最終結果一致且可重復。此外,VARIAN 3290濺射模型還可以使用先進的幾何控制設備和由多種材料（包括純金屬、合金和陶瓷氧化物）制成的高質量陰極實現均勻沈積。此外，這種先進的濺射系統還為用戶友好的單元操作、維護、診斷、編程和配方開發提供了全面的界面。這種優化的界面使機器直觀，最終降低了用戶的學習曲線。用戶友好的功能從控制目標溫度、氙氣壓力、成分設置到數據實時監控不等。所有這些創新功能使3290濺射工具成為從物理氣相沈積過程中獲得高質量、可靠結果的絕佳選擇，它是任何實驗室的寶貴資產。