二手 VARIAN 3290 #9174285 待售

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VARIAN 3290
已售出
製造商
VARIAN
模型
3290
ID: 9174285
晶圓大小: 5"
Sputtering system, 5".
VARIAN 3290是一種設計用於半導體器件制造和薄膜加工的高性能濺射設備。3290采用熱、反應性、離子輔助沈積等一系列標準濺射工藝,沈積包括鋁、金、鉻、鈦、銅、W、Ta、Nb和鎳鉻合金在內的各種材料系統薄膜。該系統還能夠使用金屬、電介質和半導體薄膜。VARIAN 3290單元是生產先進薄膜架構的終極解決方案。它專門設計用於從單個平臺沈積薄膜,使客戶能夠實現高吞吐量並優化其設備設計的層性能。該機采用最新的壓力和溫度控制套件,確保精確的濺射環境,用於精確的厚度控制和結構定義。該工具能夠改變濺射氣體,以滿足設計的具體需要和所沈積的材料。它還允許精確控制溫度和壓力,以匹配多層膜的沈積要求。3290資產是半導體應用的理想選擇,因為它采用精密工藝控制(PPC)技術,能夠輕松地在工藝設置之間切換,確保快速可靠的工藝,並能準確控制反應壓力、溫度和基礎材料。此外,其專有的金剛石塗層真空室非常適合長期使用,並為防止反應汙染提供了額外的保護。VARIAN 3290在其設計中還包含了廣泛的自動化過程,包括樣品管理、配方控制、晶圓處理和源使用。這些過程與可根據客戶需求定制的高級過程模型相結合,為一流的薄膜層吞吐量和加速設備開發奠定了基礎。總體而言,3290是一種功能強大、用途廣泛的濺射模型,提供先進的insitu過程控制和擴展的過程能力。其強大的設計確保了可靠的設備和快速的加工時間,從而提高了產量。
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