二手 VARIAN 3290 STQ #9257988 待售

VARIAN 3290 STQ是一種先進的濺射設備，用於將各種材料的薄膜沈積到各種各樣的基板上。該系統采用直流電（DC）濺射工藝，對薄膜的沈積速率、厚度和組成提供精確控制。VARIAN 3290STQ內的濺射過程是在高頻、低壓氣體引入腔室時開始的，通常使用專用的渦輪分子泵。接下來，對基板和濺射源施加直流電壓，導致它們之間產生在氣體中產生離子的電場。高能離子隨後向濺射目標加速，導致物質從表面濺射出去。濺射的原子然後沈積在基板上，形成薄膜。3290 STQ提供對濺射過程的完全控制。設備的電壓、功率和氣流可以實時調節，以確保最佳沈積。例如，較高的電壓往往會增加薄膜的沈積速率，而較低的電壓則可以用來制造更均勻的薄膜。該機器還提供了同時和順序存放多個目標的能力，以創建具有定制特性的復雜多層薄膜。3290STQ也被設計成完全自動化。其閉環控制系統，連同其伺服控制的磁體和源，有助於確保整個基板上均勻的膜沈積。此外,該工具的高級數據采集系統能夠精確地表征薄膜沈積速率和組成,並可以存儲數據以進行存檔。總體而言,VARIAN 3290 STQ是一種可靠、經濟高效的濺射資產,為薄膜的沈積提供了先進的可能性。其多用途的設計，自動化的過程控制和精確的監控，確保了一個高質量的，一致的膜沈積每次。