二手 VARIAN 3290 STQ #9134775 待售

VARIAN 3290 STQ是為薄膜沈積應用而設計的高性能濺射設備。該系統使用工藝組件進行磁力轟擊，並將材料沈積到基板上，在整個基板上具有精確的層厚度和精確的均勻性。VARIAN 3290STQ單元包括多種組件，設計用於制造不同金屬、電介質和其他材料的薄膜。3290 STQ包括一個橢圓形的真空室，旨在營造高質量的真空環境。該腔室由不銹鋼制成，采用O形環密封，並配有多種視口和診斷。機器內部有兩個高壓不對稱磁控管，用於將材料濺射到基板上。磁控管能夠提供高濺射速率和最小侵蝕的底物。該工具還包括兩個基板支架，可用於安全定位和定位，同時濺射到多個基板上。為精確控制薄膜厚度,3290STQ包括一個自動薄膜厚度控制器.該控制器用於監控和控制濺射沈積速率，確保整個基板的均勻性。該資產還包括一個計算機控制器，它允許用戶對自己的沈積配方進行編程，並將其存儲以備將來使用。該控制器還便於在薄膜沈積過程中監測和調整過程，以及維護沈積數據的詳細日誌。VARIAN 3290 STQ型號配備了多種安全特性，包括中斷沈積監測和氣體泄漏探測器。中斷沈積控制器設計用於在薄膜沈積過程中斷或中斷時自動關閉設備,防止損壞系統和基板。氣體泄漏檢測器設計用於檢測設備內組件的任何潛在泄漏，並向用戶發出警報，確保真空室保持密封並無泄漏。VARIAN 3290STQ機是一種用途廣泛且可靠的濺射工具，旨在將優質薄膜沈積到多種基板上。此資產非常適合眾多應用,包括平板顯示器、薄膜晶體管、光電器件和MEMS器件。3290 STQ具有先進的安全特性和精確的工藝控制,是研究人員和制造商希望創造高質量薄膜的理想工具。