二手 VARIAN / NOVELLUS M2i #9027015 待售

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VARIAN / NOVELLUS M2i
已售出
ID: 9027015
Sputtering systems.
VARIAN/NOVELLUS M2i是一種用於材料沈積和薄膜制造的濺射設備。該系統在設計時考慮了模塊化,能夠配置具有各種組件的濺射單元。VARIAN M2i包括兩個主要組件:真空加工室和濺射陰極組件.VARIAN/NVELLUS NOVELLUS M2i真空加工室采用不銹鋼制成,密封氣密,確保在清潔、高真空環境下進行濺射。該腔室設有渦輪泵送功能、數字溫度感測和測量機、惰性氣體引入工具以及計算機控制的監控資產。M2i的濺射陰極組件負責放電高能粒子,以便將薄薄的材料層沈積到基板上。濺射陰極組件由陽極、crucible支架和用於控制和維護等離子體的模塊組成。組件的控制和監控組件包括直流(DC)偏置和AutoEqualizer模塊,可確保一致的沈積速率。VARIAN/NOVELLUS M2i還具有電子能量監控器(EEM)和沈積速率監控器(DRM)等附加應用。EEM在濺射過程中監視入射粒子的能量,而DRM監視沈積速率。這兩項功能都為用戶提供了一種明智和受控的方法來設置濺射過程並確保實現所需的結果。總體而言,VARIAN M2i是一種先進的用於材料沈積和薄膜制造的濺射模型。它是一個經濟高效且可靠的解決方案,為用戶提供了一種易於配置且高效的方法來獲得所需的濺射過程結果。設備由堅固的部件組成,具有強大的控制和監測選項,所有這些組件都在高真空環境中,以確保精確和優化的沈積速率。
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