二手 VARIAN / NOVELLUS M2i #9106398 待售
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已售出
ID: 9106398
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6"
(1) Etch target
(4) Sputtering targets
A2- Etch w/ Comdel CPS1001 RF power supply
A3- Cobalt w/ Varian Multi Range DC Power Supply 3-12kW
A4 - Ti/TTN w/Varian Multi Range DC Power Supply 6-24kW
A5 - Al w/ Varian Multi Range DC Power Supply 3-12kW
A6 -Ti/TTN w/Varian Multi Range DC Power Supply 3-12kW
(4) CTI Cryogenics 9600 Compressors
Neslab Coolflow System IV 230V 3 phase
Infincon CIS TS100 RGA units on A2-A6 and transfer
Missing sputtering target assemblies
ACE Version
Quantum targets
Degas modules
1995 vintage.
VARIAN/NOVELLUS M2i是一種高端濺射設備,可為高產量、厚膜沈積應用提供強大的性能。VARIAN M2i能夠沈積各種薄膜，包括導體、電介質和金屬氧化物。它專為大批量生產而設計，低擁有成本使其成為那些希望在實驗室或生產設施中增加濺射能力的人的一個有吸引力的選擇。NOVELLUS M2i配備了2英寸磁控管濺射系統，允許淺層和深層接近沈積過程。它具有一個雙輸出的單源單元，提供高達6 kW的可供薄膜沈積的功率。該源的設計目的是提供一個一致的沈積水平，即使沈積環境發生變化。該機器還設計用於高沈積速率，提供大約16-20納米/分鐘的速率。M2i能夠產生對薄膜的地形、覆蓋範圍和均勻性進行精確控制的厚膜層。它非常可靠，而且該工具的軟件設計方便操作和維護。資產可以手動或自動模式操作，為用戶提供高度的靈活性。此外，VARIAN/NOVELLUS M2i還配備了應急發電機，以保護材料不受任何意外事件的影響。VARIAN M2i對於那些希望生產出具有可靠、可重復結果的厚膜層的人來說是一個非常寶貴的工具。NOVELLUS的強大性能加上低擁有成本,M2i任何實驗室或生產設施都是一個極具吸引力的選擇。
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