二手 VARIAN / NOVELLUS M2i #9133229 待售

VARIAN/NOVELLUS M2i是一種最先進的濺射設備,非常適合半導體制造業的先進沈積應用。VARIAN M2i為最苛刻的產品提供精確、可靠的性能,以滿足最高的電導率、電遷移和壽命要求。NOVELLUS M2i具有獨特的鋁化工藝,可產生低電阻結構,從而實現更先進的設備設計並最大限度地減少功耗。M2i的專利、高速率濺射沈積模塊是系統的重要組成部分，提供了無與倫比的吞吐量。通過控制反應物的比例，用戶可以精確地開啟/關閉某些反應過程，制造出超薄導電膜。該股還利用VARIAN MBX CenterStage™，這是一個自動化的指揮和控制機器，支持準確的調度和流程監督。CenterStage™使得能夠實時檢測基板失準、濺射沈積速率、目標特性等參數，最大限度地減少任何產量損失，提高吞吐量。VARIAN/NOVELLUS M2i還提供可靠的數據恢復功能,通過無縫自我診斷和恢復防止電源中斷或故障。此外，VARIAN M2i濺射工具具有自動清潔功能，可保持腔室清潔，不受汙染物汙染。這有助於提高最終用途產品的質量,並從長遠來看產生更好的性能。NOVELLUS M2i濺射工具是尋找先進、可靠、快速沈積資產的半導體制造商的絕佳選擇，能夠滿足他們對導電性、電遷移和功耗的嚴格要求。其獨特的鍍鋁工藝、快速的沈積速率、自動化的指揮控制模型，使其成為先進沈積應用的理想濺射工具。