二手 VARIAN / NOVELLUS M2i #9213819 待售

VARIAN/NOVELLUS M2i是一種用於大氣壓力物理氣相沈積（PVD）過程的濺射設備。它是一個用途廣泛的緊湊系統，利用廣泛的濺射靶和沈積源來生產薄膜在廣泛的應用。設備的組件旨在最大程度地提高沈積吞吐量、產量和工藝一致性。它具有兩個目標組和一個雙磁控管濺射機，允許同時和順序濺射沈積。該工具的設計具有材料沈積的靈活性，有各種各樣的目標材料和濺射模式。資產的電源能夠為濺射目標提供25+kW的功率，從而實現卓越的過程控制。集成控制器具有可調腔室壓力，改善濺射沈積。獲得專利的雙磁控管濺射模型可以在離子輔助沈積（IAD）和多種陰極濺射模式下運行。該設備還具有自動薄膜控制和過程監控功能。這樣可以確保針對最小缺陷和過程偏差優化流程。其中一個特點是渦輪泵和循環冷卻劑系統防止汙染的腔室。VARIAN M2i是高沈積率應用的理想解決方案。過程可以快速、準確地實施，集成加熱元件允許低溫膜沈積。它是一個高端單元,提供最好的PVD技術解決方案。