二手 VEECO / DEKTAK Spector #9095769 待售

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ID: 9095769
優質的: ~2001
Dual ion beam deposition system Application: DWDM Filter Target: (3) Round target Target Materials: (1) Ta and (2) SiO2 Rotation: High Speed Fixture, Internal Control Heater: Yes RGA: No OMS: Yes with Agilent Laser Modified OMS computer Pumping System: CTI CRY-400 On-Board CTI 9600 Compressor Mechanical Pump ~2001 vintage.
VEECO/DEKTAK Spector是一種濺射設備,用於將薄膜沈積到表面。它是一個高性能的塗層系統,經過設計以滿足各種工業應用的要求,包括半導體、平板、顯示器和光學制造。該裝置以物理氣相沈積技術為基礎,使薄膜能夠快速、均勻、精確地沈積到基材上。它由一個集成的基模、一個工藝室、一個高精度的基板級和一個集成的工藝控制機組成。該工藝室有兩個工藝源-一個間歇室和一個外部源,允許各種沈積技術。該工具旨在加工尺寸不超過4英寸的材料,總工作面積不超過13英寸,溫度範圍不超過500 °C。這樣可以沈積各種材料,包括金屬、導體、電介質和電阻器。該資產配備了精密自動化功能,包括無線性和可重復的XYZ運動舞臺、雙面全自動晶圓處理模型以及獲得專利的VisionPlus™ 7-CAD網絡攝像頭設備。這樣可以保證基板的可靠運動、位置、方向、對準和精度。VisionPlus™系統提供了流程的全面圖形概述,使用戶能夠詳細監控流程。該單元還提供了用於實時材料表征的EDX質量控制機器。該工具可用於多種應用,包括合成用於高性能電子和/或光學材料的薄膜,以及工業基板的保護性或裝飾性塗層的沈積。VEECO Spector資產是為許多類型的工業應用制造薄膜的可靠且經濟高效的工具。
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