二手 DISCO DCS 141 #9148247 待售

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ID: 9148247
Wafer cleaning system, 8" Applicable tape frame size: 2"-8" Table rotating speed: 0-3000 min-1 (RPM) Spinner discharge pressure: 2.0-12.0 (Mpa) Air: 0.5 Mpa 216 L/min N2: 0.5 Mpa 54 L/min Water: 0.1 Mpa 0.1 L/min Power: 100 V, Single phase, 1.5 KVa.
DISCO DCS 141是一款最先進的晶圓和掩模洗滌器,設計用於半導體工業中的濕洗滌工藝。利用其先進的RFID和用戶ID驗證設備,系統能夠防止任何未經授權的訪問或活動。它還可以記錄和存儲關鍵事件和操作員活動。DISCO DCS141配備了三速離心裝置,用於快速精確的洗滌。其先進的洗滌技術保證了有機、非有機和抗靜電等不同模式下優越的顆粒去除。它舒適的觸摸屏界面允許在幾分鐘內輕松操作和更改操作。該機配備了多個LED照明系統,包括一個深紫色LED,據說在晶圓/面罩擦洗過程中有盡可能高的消毒效果。這有助於最小化汙染的風險,而自旋幹燥機迅速從晶圓殼中除去水分。經過優化的幹燥還有助於最大限度地提高工藝吞吐量,具有較高的洗滌效率,最大限度地去除顆粒。它還可以確保高溫均勻性,從而提高性能。此外,它具有低用水特性和高穩定運行的持續性能。DCS 141是為了安全而設計的。它有溫度保護系統,一個水位探測器,多個傳感器和一個運動控制工具,以實現最大安全,即使重晶圓。它還具有防止晶圓化學品非法排放的防回流資產。這種先進的晶片和掩模洗滌器還具有多種其他先進的功能,如無振動操作和PID控制模型,即使在高速操作下也是高效的。它還具有堅固耐用的不銹鋼設計和密封良好的蓋子,可消除汙染風險。總體而言,DCS141是半導體行業濕洗工藝的可靠選擇,提供卓越的性能和安全性。配備了多種先進的功能,這種晶圓和掩模洗滌器是高度可靠和高效操作的完美選擇。
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