二手 CANON FPA 3000 EX3 #9092577 待售

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CANON FPA 3000 EX3
已售出
ID: 9092577
優質的: 1997
Stepper 1997 vintage.
CANON FPA 3000 EX3是一種先進的晶片步進器,設計用於先進的半導體微芯片制造工藝。專門設計用於高端半導體微芯片生產中的光刻應用。FPA 3000 EX3的最大分辨率為5nm,具有極高的精度,使其能夠在芯片生產過程中達到盡可能高的精度和可重復性。它能夠以極低的缺陷率以高達每分鐘20個芯片的速度吞吐量。此外,CANON FPA 3000 EX3還采用了先進的圖像校正設備,可將聚焦深度不正確性降低30%,並將成像精度提高一倍。FPA 3000 EX3包括各種其他功能,以最大限度地提高生產效率並最大限度地降低成本。其獨特的自動調諧圖(ATM)系統能夠對光刻工藝參數進行即時優化,而其內置的自動缺陷檢測(ADD)單元在成像過程開始前對圖像進行自動實時檢查。這提高了機器的整體精度和靈敏度,減少了手工修飾和編輯圖像的需要。此外,CANON FPA 3000 EX3還配備了多種高性能組件,可實現最高性能和效率。它采用500萬像素CCD相機、光學校正280mm F/2.8鏡頭和先進的5軸對準機來穩定操作和超精確對準。其高端電源和冷卻系統確保了最佳的溫度控制,其堅固的減振結構使其能夠在任何類型的環境中運行。為了便於與其他計算機進行數據傳輸,FPA 3000 EX3還包括千兆位以太網LAN接口和可選的雙冗余2.5Gb服務端口。除了增強的過程控制功能和對CANON專有E-DAQ軟件的全面支持外,CANON FPA 3000 EX3還為光刻應用提供了全面的解決方案。FPA 3000 EX3是一種高度先進的晶圓步進器,可提供無與倫比的精度、可重復性和工作效率。其尖端部件、先進的圖像校正和自動缺陷檢測系統使其成為高端半導體微芯片制造工藝的理想選擇。
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