二手 CANON FPA 5000 ES3 #100787 待售

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ID: 100787
Stepper, 8" KrF Scanner No laser SMIF (Reticle) Interfaced with TEL Act 8 Reticle size: 6" Mainframe: Operation Controller Main body Back chamber RASCO BCU-900 Temperature control unit Power: 200 V, 3 ø, 40 A CYMER ELS6300 Laser unit Power: 208 V, 50/60 Hz, 60 A ULPA filter I/F Module Tool box 2001 vintage.
CANON FPA 5000 ES3 Wafer Stepper是一種突破性的半導體光刻機,專為集成電路中使用的晶片和元件的批量生產而設計。步進器具有很高的精確度,允許在晶圓表面進行精確和高分辨率的成像。步進器配備了尖端的曝光控制設備(ECS),可提供高水平的過度曝光和曝光不足保護,並保持直觀的控制水平。該系統簡化了操作,減少了用戶的培訓時間,加快了晶圓綁定集成電路的上市時間。步進器還配備了高功率照明單元。其升級後的光學技術具有前後兩種透鏡,能夠更好地將光強度分布到目標表面上。這有助於減少缺陷並實現更高的形狀精度。CANON FPA 5000ES3由6,000 W功率輸出的激光器供電,每小時最多可成像2300個芯片。步進器還具有精確讀取模具位置的高精度自動識別機,為機器提供了自動調整光學刀具以保持最佳曝光所需的精確信息。此外,步進器還為各種材料(如8英寸、12英寸和300毫米尺寸的晶片)提供了堅固耐用的框架和卓越的伺服控制。FPA-5000 ES3 Wafer Stepper還提供卓越的圖像精度和高分辨率成像功能,遠遠超過競爭對手,從而提高了產量並提高了生產效率。該資產易於操作,盡管有多種操作和大量使用,但仍能提供安全、可靠的操作和準確性。FPA 5000ES3晶片步進器是尋求具有卓越精度和分辨率的最新、最高效晶片處理模型的公司的完美解決方案。
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