二手 NIKON i7 #182534 待售

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NIKON i7
已售出
製造商
NIKON
模型
i7
ID: 182534
晶圓大小: 6"
Steppers, 6".
NIKON i7是來自NIKON的頂級晶圓步進設備。NIKON I 7是一種多任務步進器,能夠支持廣泛的應用,從簡單的光刻到生產高度復雜元件的極高精密光刻。I7是一個功能齊全的系統,包括高分辨率成像單元、高級模式識別和對齊功能,以及功能強大的自動化控制系統。I7采用晶片步進機構,由兩個精確、高精度的掃描級組成。掃描級用來聚焦和驅動有圖案的掩模暴露在半導體晶片上。步進級提供精確的位置測量、精確的掃描速度和高頻操作。晶圓使用精確聚焦光學器件曝光,分辨率低至0.50 μ m。NIKON i7在提供高分辨率成像的同時具有高達2700 cm2/hour的高吞吐量。其先進的模式識別技術使其能夠精確檢測晶圓上的小特征,即使分辨率為0.50 μ m。這樣可以實現更好的成像精度,並減少過程中出現缺陷的可能性。NIKON I 7還有一臺先進的對準機,能夠檢測到與亞像素精度的錯位,從而改進定位和對準。I7是一種高度自動化的工具,利用過程控制軟件來管理光刻過程。該軟件能夠控制和優化曝光參數,例如掃描速度和模式放置。I7還有一個自動聚焦方法,在曝光過程中調整焦點,以確保在任何時候最佳聚焦。NIKON i7是MEMS、顯示器和傳感器生產以及醫療設備制造等高科技應用的理想光刻解決方案。它能夠精確、精確地曝光0.50 μ米的圖案,是一種高效可靠的資產。NIKON I 7是高端光刻應用的完美選擇。
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