二手 NIKON NSR 1505 G6E #9120694 待售

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NIKON NSR 1505 G6E
已售出
ID: 9120694
晶圓大小: 5"
Stepper, 5" Resolution: 0.65㎛ D.O.F: range ≥ 1.5 ㎛ Lens distortion: ≤±0.09 ㎛ Focus stability: ≤0.6 ㎛ Wafer flatness: ≤3 ㎛ Uniformity: ≤±2.0% Reticle rotation accuracy: ±0.02 ㎛ Overlay: |X| + 3σ ≤ 0.2㎛ EGA alignment accuracy: |X| + 3σ ≤ 0.14 ㎛ Stepping accuracy: 3σ ≤ 0.09 ㎛ Pre-alignment repeatability: 3σ ≤ 2 5㎛ Utilities: Electrical power: 200V±20 V, 3 Phase, 50 A, 50/60 Hz Air: ≥3 kg/cm2, 5 L/min, 1/4" Vacuum: ≤300 mmHg, 50 L/min, 1/4" PCW: 16°-32°C, ≥3 kg/c, 18 L/min, 1/2" Thermal exhaust: 1000L/min, 125mm Drain: 1".
NIKON NSR 1505 G6E是一種多場高端晶圓步進器,旨在方便先進的半導體電路制造。它具有高精度和可重復的精度,為各種設備類型提供了卓越的性能。NIKON NSR-1505G6E使用4 x和5 x掃描曝光模式使其適合任何設備或應用。可用的各種投影透鏡-包括兩個非球面透鏡、一個遠心透鏡和一個超遠心透鏡-在廣泛的焦距範圍內提供極為精確的結果。該設備還具有鏡頭掃描模式,通過在一個步驟中進行多次曝光,提高了掃描曝光的效率。NSR 1505 G6E采用嚴格的真空控制,可在清潔環境中運行。控制設備包括一個超低顆粒傳感單元,用於監測步進機中空氣中的粒子濃度。這為確保穩定和清潔的操作環境提供了持續的控制。NSR-1505G6E具有多個用戶可選功能,允許最終用戶根據其特定要求自定義設備。其中一個選項是使用高分辨率漸變和優化功能組合的高效曝光策略。這有助於減少錯位或像差造成的光學效應數量,提供高精度。NIKON NSR 1505 G6E可以接受各種半間距幾何圖案,包括線距離和斜線,以支持一系列的應用。其他功能包括自動對齊和定心例程,以及提供快速測試以驗證晶圓工藝結果的在線測試功能。NIKON NSR-1505G6E包括各種可選的自動化軟件包,可提高系統的準確性和生產率。其中包括一個強大的多軌級,它允許步進器更快速和精確地移動,以及一個視覺對齊單元,用於測量和比較傳入的晶片和存儲的參考圖像。步進器還可以與現有的生產設施集成,以簡化工作流程、減少停機時間並優化操作效率。總體而言,NSR 1505 G6E是一個強大而精確的步進器,為晶圓處理提供了出色的效果。其多場光學和真空控制機使其成為高端晶圓制造的理想選擇。各種自動化軟件包和其他用戶選項常常使其成為高級半導體生產的首選。
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