二手 NIKON NSR 1505 i6 #9068876 待售

NIKON NSR 1505 i6
製造商
NIKON
模型
NSR 1505 i6
ID: 9068876
晶圓大小: 3"-5"
i-line steppers, 3"-5" Reticle: 5".
NIKON NSR 1505 i6是為高精度晶圓光刻而設計的4英寸晶圓步進器。這種先進的設備結合了NIKON先進的光學、世界級的工藝和高度穩定的運動,提供了最高的精度和生產效率。該系統設計用於處理半導體、MEMS或其他先進技術上的光掩碼。它采用了NIKON專利的「i」(索引括號)線掃描技術,提供了較高的圖像質量、較低的模式識別誤差和較少的掩碼缺陷。NSR 1505 i6光刻單元利用步進級精度。該機采用高精度、六軸運動控制器。該運動控制器采用兩級伺服控制掃描機構,可隨時提供光掩模的平滑準確運動。該工具還具有高精度晶片級,確保在光刻過程中精確放置晶片。晶片級有一個防滑表面,允許晶片邊緣的高度均勻性。此外,該資產還配備了NIKON專利的「浮動舞臺」模型,該模型允許舞臺獨立於光學車廂移動。這樣可以使設備在蒙版加載過程中保持恒定聚焦。NIKON NSR 1505 i6也有一套功能強大的軟件選項。這些包括自動對焦和自動對焦優化、程序管理和自動對焦窗口選擇。此外,它還提供了廣泛的作業控制設置,以實現最大的速度和可靠性。總體而言,NSR 1505 i6晶片步進器是一種功能強大且可靠的機器,適用於以最高精度和生產效率處理復雜的光掩模。該系統具有先進的運動控制、卓越的圖像質量、高精度晶圓級以及最佳的軟件功能。它是一個高度先進的單元,適用於半導體行業的廣泛應用。
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