二手 NIKON NSR 1505 i7A #9409898 待售
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ID: 9409898
優質的: 2010
Stepper
Lens data
Field size: 15 x 15 mm
Lamp uniformity: < 2%
Flash power: 300 Mw
Exposure stability: ≤ 1.4%
Water flatness: ≤ 25µm
LSA Focus: < 1.5 µm
Tele focus: < 0.02 µm
Reticle blinds: 0.4 - 0.8 µm
Stepping: Sigma < 0.03 µm
Orthagonality: < 0.2 sec
Reticle rotation: RRep ≤ 0.02 µm
Wafer loader repeatability: Sigma ≤ 5 µm
Overlay: 3 σ
with average ≤ 0.13 µm
Focus repeatability: 3-1 ≤ 0.15 µm
Lens tilt:
UR - LL ≤ 0.45 µm
UL - LR ≤ 0.45 µm
2010 vintage.
NIKON NSR 1505 i7A Wafer Stepper是一種高精度、緊湊的光刻設備,專為先進的半導體器件制造而設計。它采用了7納米分辨率的步進/掃描技術,具有高度可靠的步進/掃描頭,具有420mm x 500 mm的大工作區。這臺機器能夠跨越一個大的工作領域而不降低分辨率,這使它在現代納米技術應用中具有獨特的優勢。NIKON NSR-1505I7A Wafer Stepper的光學架構是基於簡單有效的設計。該系統由超高分辨率光學透鏡和低NA投影光學元件構成。這種組合導致圖像字段為420mm x 500 mm,最高分辨率為7nm,精確控制對象的位移以實現恒定的步長大小。支持晶片步進器的靜態和掃描頭應用的兩種變體,從而使生產具有靈活性。NSR 1505 I7A Wafer Stepper具有良好的性能和準確性記錄。具有先進的6軸運動控制和簡化定位的運動控制技術,保證了工藝的更高精度和精度。這臺機器還配備了一套符合人體工程學和用戶友好的軟件,便於操作。NSR 1505 i7A Wafer Stepper使用了一系列高級功能,包括自學算法,以最大限度地提高光刻曝光的效率。該單元能夠實現更高分辨率的成像和改進瞳孔偏振,讓用戶獲得更清晰的圖像和地下成像。該機還具有自動對齊功能,能夠快速集成到生產線中。NSR 1505 I 7 A Wafer Stepper是一種高度可靠和高效的機器,使用戶能夠在各種基板上實現高精度光刻。它小巧的尺寸可以方便地安裝到現有生產線中,而且安裝時間最短。這臺機器的優勢,加上直觀、用戶友好的軟件,使其成為先進半導體器件制造的理想選擇。
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