二手 NIKON NSR 1755 G7A #9165602 待售

NIKON NSR 1755 G7A
ID: 9165602
晶圓大小: 6"
Steppers, 6".
NIKON NSR 1755 G7A是一種高性能晶圓步進器,專為廣泛的光刻和掩模對準應用而設計。它旨在滿足高質量光刻工藝的要求,具有無與倫比的精確度和工藝控制。NIKON NSR-1755G7A能夠產生高度均勻性的亞微米分辨率模式。NSR-1755 G7A是一種高速設備,配備1.3數值孔徑可還原投影鏡頭,5000瓦高功率汞弧曝光源,以及先進的曝光控制器,提供高達125,000次曝光/小時的精湛光學成像。此外,系統融合了NIKON多波長曝光功能,允許在不同波長設置下同時曝光多層。NSR 1755 G7A還配備了先進的對準系統,以確保高度準確和精確的結果。這包括一個雙頻率、雙激光晶片對準單元。本機利用反射檢測提供高速處理,同時保持高度對準精度。NSR-1755G7A還提供全方位的曝光自動化和過程控制功能,以確保可重復性和一致的結果。NIKON NSR-1755 G7A配置性強,有許多可用的選項和附件。其中包括用於過程監控的高級數字盲曝光工具、用於比傳統方法更高精度的視覺對準資產、用於高分辨率功能的專用掩碼,以及用於提高吞吐量的可選電動晶片傳輸模型。此外,NIKON NSR 1755 G7A可用於低壓多層器件技術、高縱橫比幹蝕刻、致密接觸viahole掩蔽、高介電屏障層沈積等先進半導體制造工藝。簡而言之,NIKON NSR-1755G7A是一種強大可靠的晶片步進器,能夠產生高通量和出色工藝控制的亞微米分辨率模式。憑借其先進的對準和曝光系統、高分辨率成像以及廣泛的自動化功能,NSR-1755 G7A為各種應用程序提供了卓越的準確性和可重復性。
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