二手 NIKON NSR 1755 i7A #293655181 待售
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ID: 293655181
晶圓大小: 6"
Stepper, 6"
(2) CVCF NEMA Boxes
Reticle, 5"
Wafer chuck, 6"
0.5 NA
Variable reticle microscope: 15, 17.5
Reticle barcode reader
Reticle case, 5"
Wafer type: Semi wafer
Wafer chuck type: Ring
Pre alignment2 / Hammer, 6"
Wafer loader
Chip levelling
Carrier table: Left / Right
HP 5517A Laser
Right rack
ASAHI S78 Chamber
Chamber temperature: 23°C
NEST2 PC.
NIKON NSR 1755 i7A是一種最先進的晶圓步進器,專為跨越廣泛應用的晶圓工藝而設計。通過高度精確的步驟和掃描以及高速操作,此步進器有望提高吞吐量、提高產量、降低成本並提高總體生產率。步進器有雙軸設備，利用新的掃描和鏡像系統來提高精度和速度。它還具有業界領先的移動階段選項,允許加速速度比其他型號快20%,同時保持節拍精度。步進器還具有高精度的邊緣對準功能和晶圓級卸載功能,有助於確保芯片邊緣放置的一致性。此外,NIKON NSR 1755I7A使用基於圖像的自動操作措施,可將晶圓的制備時間縮短到7分鐘以內。NSR-1755I7A使用400nm光學系統和5.2對角線測量,確保光刻等過程的最高精度和誤差。光刻單元允許抵抗處理控制和提高光學分辨率水平，允許更好的劑量精度和薄膜的均勻性。它利用先進的光學設計、一套過程控制工具和內置的快速CD處理來幫助實現所需的特征尺寸和精度。鏡頭系統還使用NIKON Precision Optics，提供頂級圖像質量和數值光圈精度。此外,NSR-1755 I 7 A適用於200毫米到12英寸或更大的各種工藝尺寸。晶圓步進器也是完全自動化的，並附有現場預防性維護功能，允許不間斷地繼續運行。此外,步進器還具有基於傳感器的機器,可幫助提供最佳曝光條件。總而言之,NSR 1755 i7A是一種先進的晶圓步進器,可提供高度精確的步進和掃描以及高速操作。此步進器可幫助提高吞吐量、提高產量、降低成本以及提高各種晶圓工藝應用程序的生產率。
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