二手 NIKON NSR 1755 i7A #293655188 待售

ID: 293655188
Stepper.
NIKON NSR 1755 i7A是一種先進的晶片步進器,能夠在半導體晶片上以亞微米級分辨率成型制造層。作為NIKON iSeries中最先進的步進器之一,它非常適合處理具有挑戰性的高級節點晶圓,包括5 nm及以下的高級節點。NIKON NSR 1755I7A采用低振動、冷陰極直接標記(CCDM)技術,可實現亞微米級圖樣所需的成像穩定性和圖樣精度。CCDM成像和7軸級單元的組合提供了一個無與倫比的基板與基板對準精度小於1.0微米。有了車載實時閉環監控設備,晶圓對準可以不斷跟蹤調整,在處理過程中保持極高的精度。NSR-1755I7A的視場為25毫米x 25毫米,總吞吐量超過250晶圓/小時。它與高性能電光模塊(EOM)集成在一起,具有增強的波長系統,可提高成像質量和吞吐量。EOM具有先進的光學單元以及Ultra-Violet和ArF激光掃描功能,可對來自一系列高級節點的晶圓中復雜模式進行成像。NIKON NSR-1755 I 7 A設計可靠,具有符合人體工程學的布局,易於操作/維護。它還配備了先進的環境能力,包括1000級潔凈室環境和多波長照明機。這項功能允許它以最小的噪音和最小的粒子汙染來處理高端設備。NSR 1755 i7A為設計高級節點晶片提供了完美的平臺,同時確保了盡可能高的準確性和可靠性。它能夠在5 nm及以下的高級工藝中對復雜模式進行陣列設計,使其成為當今半導體制造操作的理想工具。
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