二手 NIKON NSR 2005 i8A #293617129 待售

NIKON NSR 2005 i8A是一種晶圓步進器，一種在電子工業中用於縮放半導體器件生產的機器。它通過從激光二極管或聚焦離子束（FIB）傳遞能量來操作，從而在基板上實現所需的模式。NIKON NSR 2005I8A旨在降低半導體批量生產過程中的成本和提高生產率。NSR-2005I8A配有集成照明,可減少每次曝光的曝光時間。這種短暫的暴露降低了電源變化以及顆粒和汙染的影響，從而提高了工藝穩定性。此外,它的加速/減速時間已減少到7毫秒,從而最大限度地減少了非最佳曝光時間,以最大限度地提高生產吞吐量,並減少曝光時間帶來的任何潛在損害或資源。此外,它還具有較大的打印領域,允許生產分辨率較高且缺陷較少的較大模具。NSR 2005I8A提供了增強的穩定性和0.1% ±的激光功率穩定性,從而實現了改進和一致的結果。同時，通過監測縫合方向，使細紋縫合中的變形最小化，實現了縫合失配控制。其曝光控制系統進一步實現了表面粗糙度和圖像質量控制。該機器還配備了軟件功能,能夠在曝光時進行校正,並在曝光後進行診斷,以確保產品質量無缺陷。NSR-2005 I8A還具有自動對焦和先進的自動對焦算法，由於其低像差投影光學，能夠快速執行自動對焦。其逐個細胞評估技術進一步提高了批量生產水平的生產率和產量。它還具有三維對齊功能，可以糾正任何關鍵的尺寸錯誤，而其集成的通用I/O端口簡化了操作數據通信和流程管理等流程。總體而言,NSR 2005 i8A是一個功能強大的晶圓步進器,能夠在半導體器件的批量生產中產生一致、高質量的結果。其先進的功能和技術使其能夠快速進行曝光,並以最短的曝光時間和更好的穩定性,確保更高質量的產品和提高生產效率。