二手 NIKON NSR 2005 i8A #9041676 待售
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已售出
ID: 9041676
Stepper, 6"
Basic version: MCS2
Main computer:
System: PDP11/73, VT-284
CRT Monitor
Hard disk: RZ26L-E
(1) Disk drive: 5.25"
Illumination type: Normal
Wafer stage: Ring type chuck, Ball screw type
Interferometer: HP Laser
Reticle alignment: ISS
Reticle microscope: Variable (15 mm, 17.5 mm)
Wafer alignment: LSA, FIA
Auto focus: Single
Wafer loader: Type-1, OF Type
Flatzone: Front
In-Line exist (Left)
Cassette: Left/Right
Control rack position: Right
Reticle loader: 6" Reticle, Added library, 26 slots
PPD: Available
Barcode system: Available
Chamber type: ASAHI Chamber
No missing parts
Powered down
Deinstalled
1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A Wafer Stepper是一種先進的高分辨率光刻設備,用於在半導體晶片上打印極小且復雜的特征。該系統以高數值孔徑(NA)投影透鏡和高分辨率運行,將微觀圖像精確傳遞到光刻塗層晶片上。它能夠打印小至1.2 µm的特征,並具有清晰、高清的圖像。NIKON NSR 2005I8A有一個復雜的成像單元設置,包括一個照明器,曝光鏡頭,舞臺,和傳感器。照明器產生強大的光,然後由曝光透鏡控制和冷凝。由於真空卡盤具有高精度定位和受控的機械運動,所得到的圖像被投影到保持在舞臺上的晶片上。該級還能夠旋轉、傾斜和移動晶片以提高曝光精度。傳感器集成到機器中,用於監測和優化晶圓的暴露劑量。其精密算法實時工作,並調整曝光條件,以確保獲得最佳效果。它還能夠檢測任何可能對光刻性能產生負面影響的曝光問題。NSR-2005I8A還具有一套軟件選項,以幫助自動化曝光參數控制和數字圖像處理。該工具設計為堅固可靠,能夠以優化的方式工作,並具有可重復的性能。這是通過先進的數字信號處理器(DSP)資產和用於捕獲和存儲模式數據的高分辨率CCD相機實現的。最後,NSR 2005I8A還配備了一個使用離子銑削技術的清潔模型,以確保光學設備保持清潔,不受汙染物的汙染,否則會幹擾暴露過程的準確性和穩定性。最後,NIKON NSR 2005 I 8A是一種先進且高度精確的晶圓步進系統,具有一系列有助於提供高精度光刻結果的功能。其精密的成像和曝光系統確保晶片暴露在精確的條件下以產生所需的圖樣。高級軟件和硬件的使用還有助於自動化、優化和監控曝光過程,使其能夠以最高效率工作。NSR-2005 I8A的總體設計使其能夠以始終如一的高性能生成高分辨率、高清晰度的圖像,即使在亞微米級也是如此。
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