二手 NIKON NSR 2005 i8A #9041776 待售

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ID: 9041776
Stepper, 6" Basic version: MCS2 Main computer: System: PDP11/73, VT-284 CRT Monitor Hard disk: RZ26L-E (1) Disk drive: 5.25" Illumination type: Normal Wafer stage: Ring type chuck, Ball screw type Interferometer: HP Laser Reticle alignment: ISS Reticle microscope: Variable (15 mm, 17.5 mm) Wafer alignment: LSA, FIA Auto focus: Single Wafer loader: Type-1, OF Type Flatzone: Front In-Line exist (Right) Cassette: Left/Right Control rack position: Left Reticle loader: 6" Reticle, Added library, 26 slots PPD: Available Barcode system: Available Chamber type: ASAHI Chamber No missing parts Powered down Deinstalled 1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A是一種高性能步進器,適用於微電子和顯示器件生產的光刻應用。此步進器可用於各種應用,如多層處理、掩碼對齊、成像等等。NIKON NSR 2005I8A提供了多種功能來幫助提高光刻工藝的性能和生產率。它以每小時四百八十二(482)個晶片的最高速度運行,提供高精度,分辨率降至0.33微米,覆蓋精度為4%(4%)。步進器利用具有兩個精確對準目標的雙焦點對準設備和專有的圖像數據進動系統來提高準確率。NSR-2005I8A具有最大數值孔徑為0.55且場直徑為456(456)毫米的光學單元,可實現廣泛的曝光高度和處理體系結構。這臺機器還提供了一個光學catoptric設計,有效的數值孔徑為0.63用於一個純激光預對準面罩。步進器包括一個微米臂,允許快速和高效的晶圓安裝和檢查。它配備了主動掃描儀機構,提供對樣品的平穩快速掃描,可以處理直徑最大6.3英寸的最大樣本量。步進器還帶有內置的清潔制圖程序,允許用戶檢查樣品是否有汙染。此外,NSR 2005 i8A還具有復雜的功能,如單步寫入模式和獲得專利的自動掩碼與掩碼對齊工具。NIKON NSR-2005 I8A與各種化學和抗藥劑兼容,為用戶提供了廣泛的選擇。它由提供易於使用的圖形用戶界面的高端軟件資產提供支持。此外,此模型還提供多種配方創建選項,使用戶能夠為各自的應用程序創建優化的光刻配方。總體而言,NIKON NSR 2005 I 8A是光刻應用的高效可靠步進器。它提供了廣泛的特點和高度的準確性和效率,使其成為各種光刻工藝的理想選擇。
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