二手 NIKON NSR 2005 i9C #9242188 待售

NIKON NSR 2005 i9C是一種全場、高精度晶圓步進器，旨在提高半導體器件的產量並降低制造成本。這臺機器是繼NSR-2005i8C之後的模型，並通過增強的光學和處理組件提高了性能和效率。與其他非1：00鏡頭相比,NIKON NSR2005I9C設計為使用1：00伽馬塗層鏡頭步進器,可減少耀斑和幻影。正因為如此，步進器能夠產生高一音高的模式與ultrasharp成像質量。該機采用改進的晶圓對準設備，可實現高吞吐量，確保精確對準，提高工藝重復性，減少批次故障。WASL系統測量晶圓外圍的對準誤差,從而減少沿整個磁場的焦點偏移。該i9C同樣具有可變分辨率功能,使其能夠在晶圓級重現精確的圖樣尺寸,並能夠在4X （1微米分辨率）和10X （0.25微米）分辨率之間切換。這樣可以確保正確維護陣列幾何,並增加晶圓尺寸範圍。NSR-2005I9C具有一個集成的動態聚焦單元,可補償長場和高放大倍數步驟上的焦點轉移以及焦點超調,以確保高精度和高音調模式能力。動態聚焦還降低了熱力和微爐效應，因為聚焦位置是在每一個全球步驟上積極監測和調整的。該i9C還提供了一種改進的照明設備,可提供典型的2 µm線寬圖樣和傳統的幹蝕刻抗蝕劑,以及1 X雙值像素分布（BPD）的強大而靈活的壓縮。改進的照明工具還展示了一個近場效應降低，提供更好的模式對比。NIKON NSR 2005I9C還具有機械和環境穩定性,有助於減少意外故障、缺陷和產量損失。機器上的過程控制和分析軟件包確保i9C功能的最佳利用率,同時向操作員提供實時信息。總體而言,NIKON NSR-2005I9C是一種精密晶圓步進器,采用先進的成像光學技術和精密的工藝控制,可提高半導體制造的產量和成本效益。