二手 NIKON NSR 2005 i8A #9138101 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
已售出
ID: 9138101
Stepper,
PC model
NEST modify : MSC2
Software
Version : 2.4D
Reticle
(5) Size
Material : Quartz
Thickness : 0.09"
Changer type : Multi
Wafer
(6) Size
Standard : JEIDA
Orientation flat / Notch : OF
Optical system
Magnification : ( 1/5 )×
Field size : (20.0×20.4mm)
NA : ( 0.5 )~( )
Wavelength : i Line
Illumination system
Illuminant : Mercury lamp
Exposure time control : integrating Exposure control
Masking function
Wafer loader
Type : Type Ⅰ
Reticle alignment
Alignment light : Other(HeNe Laser, halogen lamp )
Type : CCD imaging, image treatment
XY stage
Type : Linear Motor Drive､triaxial interferometer
Stroke : X( 200mm )~( )/Y( 200mm )~( )
Wafer leveling
Type : Biaxial linear motor drive
TV pre-alignment
Type : Image treatment
Reticle feeder
(14 ) Sheet reticle storage
Reticle particle inspection
Type : Laser beam
Unit name : PD5(Broken)
Chamber
Cooling type (air cooling) on T/C : S85L
T/C Air cooling type : Cooling unit/inner Heater type
T/C liquid cooling type : Cooling unit/inner Heater type
T/C liquid-temp control unit : Stage
Camera
Type : CCD
FIA
LSA
Inline : Stand alone
1992 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A是一種深紫外光刻設備，設計用於高分辨率生產光掩模和半導體芯片。NIKON NSR 2005I8A采用大場平場、8英寸交替階梯式還原物鏡,旨在支持100 nm以下陣列的制造。NSR-2005I8A的可調光圈可達32微米，並采用自動對焦系統進行精細對準，能夠產生最精密的光刻工藝。NIKON NSR-2005 I8A Wafer Stepper可以加速大體積光刻工藝,提供高達4米/秒的最高寫入速度。步進器單元支持高達400nm的薄抗蝕性塗層,使各種否則難以實現低於100 nm的工藝。此外，該機還具有多場多軸對齊機，無需昂貴的掩模對齊。步進器工具輔以專有的高精度V形級與能精確測量級的運動的機械編碼器。自動階段掃描功能允許在每次步進操作之前使用存儲在計算機中的參數來對齊多個字段。晶圓步進器還配有高分辨率的Z定位器，上面配有光學加熱器，可以精確控制晶圓溫度。NSR-2005 I8A采用大場平場、浸油物鏡，特別適合大面積抗蝕劑，滿足半導體工藝的嚴密精度要求。油浸設計也使機器不受振動問題的影響，也可用於多層抗蝕光刻工藝。NIKON NSR-2005I8A Wafer Stepper還提供多種創新技術。它支持防反射塗層、高級標線管理功能、全自動操作以及高效生產的高級工藝集成。它還有一系列專門的光學選項作為後盾，包括一系列焦距和部分一致性變化，使用戶能夠以一致和可重復的結果制作最佳光刻工藝。
還沒有評論