二手 NIKON NSR 204B #9137591 待售

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NIKON NSR 204B
已售出
製造商
NIKON
模型
NSR 204B
ID: 9137591
Scanners.
NIKON NSR 204B是用於半導體生產成像晶片的先進晶片步進器。它作為一個步驟和重復設備運行,能夠在一次曝光中將晶片上的圖樣從標線轉移到光致抗蝕劑。NIKON NSR-204B具有提高產量和驅動效率的幾個設計優勢,適用於設備原型設計和生產應用。該系統使用CCD線路傳感器作為圖像檢測器,能夠實現亞微米放置精度。這使得它適用於高密度邏輯和內存設備應用,在那裏需要精確定位。該機還具有廣泛的聚焦深度,可實現理想的圖像覆蓋。它具有較高的光學帶寬以最小化放置誤差,以及一個活動的對準單元,確保了光路的優化。NSR 204還配備了NIKON主動控制浸入(ACI)機,自動優化鏡頭浸入參數,提高分辨率和對焦深度。這樣可以確保圖像保持對焦狀態,即使圖像是通過對齊的晶圓拍攝的。NSR 204B擁有包括APC機制的自動晶片處理工具,可根據晶片的大小和形狀自動設置對齊標記。此外,它還可以實現晶片對晶片的性能,而無需任何手動對準,因此適合大容量半導體生產。此外,NSR-204B還配備了綜合工藝監測工具,可以檢測抗蝕性厚度和溫度的變化,以及晶圓下垂和振動。這樣可以確保在生產前檢測到任何有故障的晶片,以避免昂貴的返工或浪費。總體而言,NIKON NSR 204B是一種高度先進且可靠的晶圓步進器,適合各種大批量生產應用。其精確校準的光學器件、自動對準和處理以及集成的過程監控,使其成為生產先進微電子器件的理想之選。
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