二手 NIKON NSR 207D #293591966 待售

NIKON NSR 207D
製造商
NIKON
模型
NSR 207D
ID: 293591966
KrF Scanner.
NIKON NSR 207D Wafer Stepper是生產級晶圓步進器,為晶圓製造帶來可靠、高品質的電路模式。其能力範圍從設備制造到消費電子產品的後端生產。NIKON NSR 207 D是一款ImTech/Ni-Plus機型,融合了先進的光刻、強光照射、快速對準和靈敏調節等先進特性。在設備制造方面,NSR 207D采用具有專有「龍蝦眼」透鏡技術的先進光刻技術(ALT)。這項技術允許更短的曝光時間和更高分辨率的圖像,使其成為半導體結構1.2 µm接觸模式的理想選擇。晶圓步進器還帶有先進的定位和測量系統。這些系統能夠快速、準確地發現晶片圖樣的對齊誤差,以確保生產過程中產量更高。他們還擁有一個強大的標記檢測設備,可以在一個不間斷的對準過程中準確檢測微小的缺陷。晶圓步進器還有一個強大的光照系統,保證光刻膠光滑而均勻的發展。這是通過向曝光單元發出一組指令並戰略性地映射曝光區域來完成的,從而產生無熱點、聚焦光強度無變化的高質量設備模式。對於後端生產,NSR 207 D還配備了曝光掃描儀。它具有與100 mm/s掃描速度的快速對準,以便精確控制曝光。它還具有交互項目搜索功能來識別目標模式。此功能可以檢測暴露漂移並糾正暴露誤差,以確保生產產量一致。晶圓步進器還支持薄膜加工,可以平滑跨越晶圓邊界生產復雜圖樣。綜上所述,NIKON NSR 207D Wafer Stepper是一種先進的生產級晶圓步進器,提供從設備制造到後端生產的多種功能。它包括先進的光刻機、強光曝光工具、快速對準系統、靈敏調節和薄膜處理。這些特性允許高質量的器件圖樣和晶圓圖樣的精確定位以及一致的生產產量。
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