二手 NIKON NSR 2205 EX12B #293589625 待售
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NIKON NSR 2205 EX12B是專門設計用於高精度晶圓加工的先進步進模型。與傳統步進器相比,它具有多種優勢,例如更高的吞吐量、更高的準確性和更低的維護要求。NIKON NSR-2205EX12B具有強大的兩級電動Z軸驅動設備,可提供平穩的操作並允許精確的舞臺移動。第一級驅動系統由手動調節的分流器支持。第二級驅動單元包括一個內置的解析器,即使在高速下也能提供低噪聲和低振動操作。這樣就可以在不漂移的情況下對晶圓的大面積進行準確和可重復的掃描。步進器還具有場發射掃描電子顯微鏡(FESEM)和集成CCD相機。這樣可以對樣品表面進行更高分辨率的成像,從而能夠更準確地檢測細微的異常。FESEM也可用於晶圓表面結構的原位操縱。這對於去除殘留物、調整暴露參數和控制暴露過程中的加工條件很有用。此外,步進器還包括用於高精度晶圓對準的曝光配準機構。這樣可以對晶圓模式進行高度精確的配準,並且能夠快速補償局部基準不對齊。該機還具有集成的自動校準例程,可快速調整焦點以確保正確對準。步進器還包括一個自動階段對準功能,它可以糾正曝光期間的任何錯位。NSR-2205 EX12B是一種先進的步進器,旨在提高晶圓處理的吞吐量、準確性和維護要求。它使用強大的雙層驅動工具進行平滑運動而不漂移和FESEM用於高分辨率成像和晶圓圖樣的原位操作。此外,步進器還包括自動校準和自動級對準功能,以確保準確性和可重復性。所有這些功能使NSR 2205EX 12 B成為那些尋求高度精確和可靠的晶片步進器的人的理想選擇。
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