二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9207018 待售
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ID: 9207018
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Stepper, 8"
Temperature range: 23°C
Chamber type: N2M-A
NA Variable system
Reticle size: 6" (Normal)
Reticle microscope: Fix
Maximum field size: 22 mm
PPD
Reticle barcode reader
No reticle SMIF
No R-library
Reticle case: 6"
Wafer type: Notch
Pre alignment 2
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
In-line (Right)
Wafer carrier table: Left, Right
Alignment sensor: LSA, FIA
Rack type: Normal (Left)
Body OP ruck cable: 3 m (Normal)
No wafer edge exposure
Laser type: CYMER ELS-5400 Laser
Laser position: Same flor
No signal tower
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 EX12B是一種全場、高精度晶圓步進器,設計用於嚴格的光刻應用。它旨在提供卓越的成像性能,並幫助減少將電路設計轉換成晶片所需的光刻工藝步驟數量。NIKON NSR-2205EX12B采用63X高NA鏡頭,具有圖像場旋轉能力,可以與各種模式配合使用。它以步進掃描模式運行,這使得布局設計具有更大的靈活性,能夠以更高的分辨率覆蓋更大的表面積。配備了長壽命快門和高端、先進的激光二極管設備,NSR-2205 EX12B提供了高重復性和可靠性。模式傳輸的準確性也得到提高,從而能夠生產出更高質量的設備。NSR 2205EX 12 B具有較高的吞吐量,可實現高達400WSPM的速度。它具有很高的柔韌性,能夠容納各種各樣的基板,包括矽、石英、玻璃、金屬和聚合物,以及各種電路設計。步進器設計為與所有NIKON系統兼容。NIKON NSR-2205 EX 12 B配備了眾多功能,包括自動對焦和自動對準功能、模具附件功能、內置光刻和抵抗檢測系統、數字放大或縮小能力、就位對焦和多軸加熱器單元。NIKON NSR-2205 EX12B的i-Line照明機提供寬域照明,有助於減少光線引起的缺陷。步進器還有一個有石英窗的專用管和一個防止汙染的值傳遞級。為確保準確工作,NSR 2205 EX12B采用高精度投影光學工具進行設計。它采用高速X-Y級,線性度為0.1微米,可重復性顯著為0.5微米。NSR-2205 EX 12 B是一種可靠且功能強大的晶圓步進器,可提供效率、精度、靈活性和性能的組合。適用於先進的光刻應用,可用於制造高精度的元件和產品。
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