二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9238672 待售

ID: 9238672
晶圓大小: 8"
KrF Stepper, 8" Resolution: 280 nm.
NIKON NSR 2205 EX12B是為集成電路的光刻生產而設計的晶圓步進器。作為先進的第二代光學光刻設備,其輸出分辨率高達0.45微米,可達12.5厘米。它結合了兩種技術來提高精度和吞吐量:先進的ArF準分子激光光源和高精度NIKON投影光學。這種晶片步進器還配備了具有高度精確配準的先進晶片級,使得將圖樣精確地以最小的失真傳遞到晶片上成為可能。NIKON NSR-2205EX12B具有大量的特性,使其適合前沿半導體生產。配備步進控制單元、基於規則的缺陷檢測系統、高效自動對焦單元。這種晶片步進器還能夠進行廣泛的操作,如自動晶片對準、步進重復過程和標線調整。此外,其先進的半導體工藝能夠以+/-3%的精度產生高達0.45 um的分辨率。此外,NSR-2205 EX12B還配備了一個標線級,從而可以為光刻工藝設置不同種類的標線。它具有自動曝光機,可自動控制光刻工藝的曝光和強度。此外,此晶片步進器提供了卓越的圖像質量,沒有失真或未對準。階段和標線階段都極其可靠和耐用。除了其先進的光刻工具外,NSR 2205 EX 12B還配備了多種其他功能,使其成為理想的晶圓步進器。其先進的軟件允許復雜的過程和模式控制。它還提供AutoCalibrate軟件,以提高工具的性能和晶圓對準精度。此外,NIKON NSR 2205EX 12 B還配備了用戶友好界面,可輕松移動、復制和重新掃描工具中的對象。總體而言,NIKON NSR-2205 EX 12 B是一種先進的晶圓步進器,設計用於集成電路的光刻生產。它提供卓越的分辨率和精確度,以及各種使其適合高端半導體生產的功能。它還具有用戶友好界面、高級軟件和自動晶圓對齊功能。這些特性使其成為當今市場上最先進的晶圓步進器之一。
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