二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9252483 待售

NIKON NSR 2205 EX12B是為提高半導體器件加工質量而設計的高精度晶圓步進器。它具有廣泛的光學元件和納米級對準精度,可容納12英寸大小的晶片。這種晶片步進器能夠支撐各種標線，包括可互換、全場和主場光刻工具。NIKON NSR-2205EX12B配備了先進的標線級，能夠在x和y軸中進行超精確的標線移動，從而對光刻面罩進行精確對準和配準。它還配備了用於實時叠加測量的XYG掃描儀,以及NIKON自己專有的SmartDoseTM功能,可實現自動劑量控制。在成像能力方面，NSR-2205 EX12B能夠在248nm的波長下分解到17nm的線寬。它還配備了多種照明選項，包括i-line、g-line、氟化k（KrF）激光器和極紫外線（EUV）光源。這種步進器還能夠使用多種抗蝕劑材料，包括光致抗蝕劑、負音抗蝕劑和幹膜抗蝕劑。NIKON NSR 2205EX 12 B也因其離軸照明配置而提供卓越的吞吐量。此步進器能夠處理0.3mm至1.0mm的各種晶圓厚度。此外,它還通過創新的加熱器輔助技術支持最新一代的抗蝕劑。在數據管理方面,NSR 2205 EX12B支持NIKON專有CMOS400技術,它允許同時進行數據收集和圖像傳輸。這樣可以確保所有關鍵數據自動上載到NIKON NSX軟件以進行進一步分析。總而言之,NIKON NSR 2205 EX 12B是一種堅固的晶圓步進器,可提供卓越的光刻性能和吞吐量。其先進的光學和納米精度幫助半導體器件制造商生產精度和精確度極高的器件。其全面的數據管理功能確保有效地存儲和跟蹤與設備相關的所有相關信息。