二手 NIKON NSR 2205 EX12B #9379641 待售

NIKON NSR 2205 EX12B是半導體制造商使用的最先進的晶圓步進器。它具有獨特的統一索引設備、雙向對準和先進的超精確控制。該EX12B是為滿足最苛刻的設備制造應用程序的需求而構建的。該系統采用基於設計載波的通用晶圓傳輸方法，簡化晶圓交換、存儲和自動化工具控制。這種統一的索引單元能夠精確定位晶片在一個精確的位置，在一個位置範圍內一微米的分辨率。這使機器的光學器件能夠使用單個設置可靠地處理多層。雙向對齊工具可實現真正的非隨機陣列放置,並靈活地適應復雜的設計變化。NIKON NSR-2205EX12B的光學封裝由四束激光束組成，用於處理和對準。激光器即使在高放大倍數下也能提供高達四微米的精度，確保精確的圖案放置和叠加精度。資產還設有兩個微衍射透鏡，將分辨率提高到亞微米級。該模型由一個唯一的超精確控制器驅動,該控制器可編程為多種數字配方。控制器精確計算激光束的路徑，以保持最高的圖案放置精度。這種先進的控制器大大提高了設備實現器件屈服一致性的能力。除了精密控制器外,系統還具有多種功能,可提供進一步的控制和監控。這些功能包括實時過程監視器、缺陷檢測單元和熱補償機。基於激光的缺陷檢測工具提供了至關重要的終身維護解決方案,有助於防止設備汙染。最後,該資產是針對要求最苛刻的半導體制造環境而設計的。它具有固有的防塵性能，能維持較高的工作溫度，具有較低的振動，具有緊密的覆蓋和分辨率。使用NSR-2205 EX12B,可以在最具挑戰性的設備上自信地處理不斷縮小的設備大小。