二手 NIKON NSR 2205 i11D #9213593 待售

NIKON NSR 2205 i11D是用於前沿半導體光刻的最新一代具有多場處理功能的高精度晶圓步進器。它的最大分辨率為0.17 μ m,市場領先價值為每小時12,000晶圓（WPH）吞吐量。它提供極致的周期性能,產生更高質量的圖像和更大的靈活性。該設備的特點包括19nm的舞臺精度、自動對焦點尺寸控制能力、離軸照明、防反射塗層、偏振控制、多場縫合，以及一個強大的自動分辨率優化遺傳算法。它還擁有一個新的用戶友好的觸摸屏顯示器，允許各種在線系統調整。步進器提供了廣泛的曝光選項,包括從左到右和從右到左模式,使設備能夠用於單層、雙層和多層曝光。它還可以容納200 mm以上的較大基板尺寸,其平整精度比整個基板的3 μ m高。該機還支持各種照明和屏蔽源,包括一個軸上源、離軸源和七個層壓源。該工具由高精度部件制成，由真空平臺構成，采用高矽納米凝膠絕緣材料穩定。NIKON NSR-2205I11D可靠可靠,工作壽命長.它也是高效的，因為它在更大的溫度範圍內運行時保持其精度和WPH。此外，它還具有低保養設計，比前代車型耗電量少45%，每兩年只需要定期保養一次或5萬次曝光。總體而言,NSR 2205I11D晶片步進器是一臺可靠、功能強大且高效的機器,能夠產生業界最優質的光刻圖像。對於要求其光刻工藝達到最大性能和精度的半導體制造商來說，它是一個理想的工具。