二手 NIKON NSR 2205 i12D #9263044 待售

NIKON NSR 2205 i12D是為半導體器件制造中的先進工藝而設計的高性能晶圓步進器。它是一種最先進的掃描步進設備,支持高達0.25 µm的分辨率以及高速和精確的掃描能力。晶圓步進器被設計為與最新的光刻工具，如浸入式透鏡一起使用，並且配置了一系列尖端技術，以提供可靠、高精度的生產。NIKON NSR-2205I12D由高度精確的12束可變形狀光束（VSB）光刻系統提供動力。該單元提供了改進的精度和可變焦點控制,為要求苛刻的應用程序提供了穩定性和可靠性。12光束配置還可確保卓越的光掩模制造,減少汙染並確保與成品設備保持一致的保真度。步進器還采用了最新的主動對準傳感和校正技術,以確保最高質量的對準和叠加精度,最大限度地減少設備之間的變化。NSR-2205I 12D的核心是一個功能強大的控制機器，它是高度可配置的，並提供廣泛的光刻，成像，計算和同步功能。此控制工具使設備制造過程中使用的許多必要過程自動化,從而無需繁瑣的手動檢查和調整,有助於簡化生產過程並最終降低成本。高級調平階段（ALS）專為NSR-2205I12D而設計,以確保步進資產的快速平穩運行。這種低調、雙軌、空氣承載級極為穩定，可調至1 µm精度。ALS模型易於使用，並且允許許多磁力驅動級相互連接，以實現復雜的運動和運動。NSR 2205 I12 D還具有EI透鏡技術,以及反射成像特征（Reflective Imaging by Characterization, RIC）成像,與傳統的透鏡系統相比,無需額外的對準和叠加布線,提高了精度。晶圓步進器還支持廣泛的高級流程，包括掩碼寫入和流程控制。總體而言,NIKON NSR 2205 I12 D是一種先進的掃描步進設備,旨在提供突破性的性能和可靠的制造。步進器結合其尖端技術和強大的控制系統，是任何尖端半導體器件制造的絕佳選擇。