二手 NIKON NSR-2205EX12C #9137681 待售

NIKON NSR-2205EX12C是最先進的晶圓步進器。步進器具有復雜的算法驅動設計，允許單個晶片或基板的精確和可重復曝光。它提供高吞吐量和節省成本的解決方案,以滿足廣泛的光刻需求。NSR-2205EX12C的核心是使用先進的數字照明技術（DIT）數字成像系統的下一代曝光設備，該系統提供比傳統晶圓步進器更大的曝光範圍。此外，該裝置有一個內置的專有軌道機，它跟蹤每個晶片和基板通過刀具時的位置，有助於重復曝光精度和顯著減少生產中的誤差。該資產采用了基於CCD相機的高精度對準模型，可確保在曝光後對準過程中的精度水平高達1.5微米。相機捕獲每個晶片或基板的曝光點，並使用結果準確補償曝光過程中可能出現的任何錯位。該設備還包括一個高精度的SCHOTT板對準器，用於0.45微米的曝光前對準精度，確保每個基板在曝光前都精確居中。NIKON NSR-2205EX12C還提供各種系統來最小化和控制抵抗厚度的變化,包括一個可以精確控制邊緣暴露的數字邊緣補償（DEC）系統,以及一個可以精確控制每個基板的抵抗厚度的數字重新連接（DR）單元。此外,它還包括高度先進的垂直開發方法（VDF）,提供更一致的曝光後烘烤到烘烤的開發過程。最後，NSR-2205EX12C包括一臺先進的光學透鏡機，它可以提供廣泛的聚焦、放大和數值光圈調節選項，最大NA為0.85，允許精確曝光甚至最小的特征。總體而言,NIKON NSR-2205EX12C是一種高度先進的晶圓步進器,為光刻應用提供了經濟高效且高通量的解決方案。