二手 NIKON NSR FX-601F #9293644 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 9293644
優質的: 1998
Stepper
Gen 2 (370 mm x 470 mm)
Gen 3 (550 mm x 650 mm) LCD panels
Resolution: ≦ 2.4 µm (Isolated pattern), ≦ 3 µm (L/S)
Projection magnification: 1: 1.25 x
Exposure field 120 mm square to 98.78 (H) × 138 (V) mm (≦ ø 169.71 mm)
Reticle size, 6"
Holds: ~(50) Reticles
Overlay: ≦ 0.5 µm (EGA, |M| + 3σ)
Throughput: (30) Shots, 65 sec (40 mJ/cm²)
1998 vintage.
NIKON NSR FX-601F是一種高性能晶片步進器,它為各級光刻應用提供了極其精確和高效的解決方案。這種多功能工具能夠以0.9秒曝光時間的驚人速度工作,並且能夠支持從亞微米模式到極端精確特征的所有類型的基板。它配備了高度精密的激光投影光學設備,提供了無與倫比的高焦度和精確度,消除了通常與常規步進器相關的潛在像差。NIKON NSR FX 601 F極快的重復率確保了系統的光學性能無論圖樣多麼復雜或精確,都能保持其無與倫比的精度。此外,步進器還可生成分辨率低至20 nm的陣列的精確曝光。步進器的高級自動化功能使它能夠快速重新配置為任何光掩模,以獲得最高的準確度,而且操作人員的培訓和時間最少。NSR FX-601F還提供高度高級的觸摸屏功能,以進一步方便用戶操作。該單元使用戶能夠靈活地訪問和修改機器功能,例如曝光精度和強度。此外,步進器還配備了直觀的可編程接口,使其能夠與各種前端工具集成,如曝光數據采集軟件,進一步提高光刻性能和穩定性。NSR FX 601 F為用戶提供了卓越的價值,最終實現了最高的性能和準確性,同時允許快速的周期時間。即使在最具挑戰性的暴露場景中,它也能提供卓越的質量和可靠性。高度復雜的設計確保步進器以最大的一致性一致地提供高精度結果。總體而言,這為用戶提供了一個強大而可靠的晶圓步進器,能夠滿足任何尺寸的光刻應用的需求。
還沒有評論