二手 NIKON NSR S306C #9379645 待售
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ID: 9379645
晶圓大小: 8"
優質的: 2003
Scanner, 8"
Main system: MCSV
Operating system: Open VMS / Windows NT / Linux
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD) / CD Drive
PPD
Unit system:
Wafer stage: Air
Chuck type: Pin chuck, 8"
Reticle alignment: SRA, VRA
Wafer alignment: LSA, FIA
BMU: Normal type
KRF Laser: CYMER Laser 7401
Auto focus: Multi
Chamber type: Sendai
Model no: S37
Wafer loader:
Loader type: Type 4
Wafer type: Notch
Flat zone position: 6 o'clock
In-Line: Left
Cassette: Right
Control rack position: Left
Reticle loader:
Reticle size, 6"
Library: 20-Slots
Bar code system:
No case
Reticle
2003 vintage.
NIKON NSR S306C是一種用於半導體制造工藝中光刻的高性能晶圓步進器。它利用先進的光學和高精度運動控制系統對晶片進行精確對準，以便在表面上繪制各種電路電平的圖樣。NIKON NSR-S306C的6英寸圓基生產晶片由兩個獨立的傳感器頭組成，允許更高的吞吐量和更大的靈活性。晶片步進器能夠檢查多個不同的層次，包括抗蝕層和地面層，以及檢查切口和粘合層。此外,該設備還可以執行10倍和20倍的掃描放大倍數。NSR S306C擁有高速自動對焦系統，利用液體透鏡快速準確對準。另外，步進器采用12站換鏡器，具有自動換鏡器和晶片加載的優化算法。此單元支持高速掃描並縮短生產過程的周期時間。NSR-S306C還具有先進的光源,可為高級陣列制作過程提供最佳曝光。可調的暴露水平可確保更高的準確性和在不同暴露區的覆蓋範圍得到改善。NIKON NSR S306C還具有先進的數據采集和控制系統。這樣可實現自動曝光日和結果記錄,以優化曝光過程。在維護方面,該機器具有易於使用的自動化維護工具和內置測試模式,有助於最大程度地減少停機時間並延長晶圓步進器的使用壽命。此外，尼康NSR-S306C也是一種環保資產，因為其低功耗有助於減少二氧化碳和其他排放。總體而言,NSR S306C是一種高性能晶片步進器,可提供高精度和吞吐量,減少模型周期時間,同時保持工藝的最佳質量。其先進的光學、高精度運動控制系統、光源和維護設備在半導體制造過程中提供了優異的效果。
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