二手 NIKON NSR SF120 #9290519 待售

NIKON NSR SF120晶圓步進器是先進的晶圓步進器，用於先進的半導體生產。它旨在實現各種成像應用和過程的高生產率,如高級光刻、檢查、直接寫入或電子束光刻。利用先進的NIKON光學設備和最新的長壽命投影曝光技術,該SF120實現了卓越的精度、對準和速度,具有高達0.5納米的高分辨率,可用於超高精度應用。雙級晶片平臺采用主動對準設備，以確保最小的對準誤差和超長曝光範圍，用於長晶片操作。SF 120的高度適應性和模塊化設計是針對各種前沿多功能流程和應用程序的完美解決方案。NIKON NSR-SF120 Wafer Stepper為各種半導體生產環境提供了許多業界領先的功能。SF120具有460毫米的晶圓跨度,可提供高達0.2微米的可重復和精確的覆蓋性能。固態激光光源采用集成曝光系統設計，提供穩定、高通量。內置的自動匹配單元保持機器平衡，產生優越的對齊性能。此外，NSR SF 120晶圓步進器提供了一種高分辨率高達0.4納米的增強檢測工具，使其成為檢查晶圓上精確的器件特性的理想選擇。它還具有廣泛的曝光範圍和現場校正能力，並支持各種標線以實現復雜的多圖樣和直接寫入光刻。NSR-SF120 Wafer Stepper配備了用戶友好的圖形用戶界面,該界面具有易於使用的直觀控件,可簡化操作並最小化停機時間。利用靈活的工藝環境,SF120提供了更輕的晶片交付和更高的吞吐量速度,以最大程度地減少操作員的工作量。其先進的資產管理解決方案還使用戶能夠管理時間表、跟蹤模式特征和監控實際處理結果。NIKON SF120 Wafer Stepper擁有全面的支持網絡,提供卓越的質量保證和持久的性能。其先進的軟件資產使用戶能夠以最高的準確性和可靠性快速完成工作,確保生產質量、很少或根本沒有維護,並隨著時間的推移節省成本。