二手 NIKON NSR SF200 #293636238 待售

NIKON NSR SF200是半導體制造業微光刻工藝中使用的最先進的多級、高精度晶圓步進器。它的設計考慮到了可擴展性,並為模式調整和開發提供了極其精確的曝光控制。NIKON NSR SF 200的模具尺寸可達12英寸,晶圓尺寸最大可達200毫米,能夠處理各種基材和應用,是大批量生產的最佳選擇。NSR SF200采用4級設計以提高精度和吞吐量,並配有視覺和照明系統,以改進曝光控制和對準。該系統利用兩個調整軸進行最佳曝光管理，並提供準確的叠加對齊和轉移模式配準。其他功能包括晶片的自動加載、自動零級對準和通過自動對焦。NSR SF 200還擁有0.5 µm的步進分辨率，允許在各種尺寸的基板上進行極其精確的圖案放置。此功能通過高達0.12 mm的圖像分辨率進一步增強,使用戶能夠獲得更高的準確性和可重復性。NIKON NSR SF200同樣適用於先進的幹性和抗性薄膜工藝。它能夠處理曝光能級在145-312nm之間的材料,允許用戶自動調整曝光照明,以配合他們選擇的曝光和抵抗材料。此外,NIKON NSR SF 200還提供液體浸泡和雙面曝光選項,使其成為滿足最苛刻的半導體開發和生產要求的理想選擇。為確保運行可靠,NSR SF200具有強大的軟件和硬件組件,所有組件均在NIKON系列光刻平臺上運行。這包括改進關鍵組件的提取和保護、最新的掩蔽和照明技術以及廣泛的用戶友好界面選項。總體而言，NSR SF 200是一種高效可靠的工具，用於生產半導體制造中一些最可靠、生產最精確的集成電路和基板。NIKON NSR SF200具有全面的功能集和高端組件,是滿足特定於應用程序的晶圓步進器需求的首選產品。